半導體行業VOCs治理難點,附案例方案
半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)行業VOCs治(zhì)理難點(diǎn),附(fù)案(àn)例方案摘要(yào)
半導體作為一個高科技產業,往(wǎng)往被誤解為“清潔”產業,但事實上(shàng),半(bàn)導體生(shēng)產過程中使用了大量的有機和無機物質,包括許多有毒有害物質,這些物質對環境具有一定的影響。半導體生產可以分為晶體(tǐ)材料(liào)生產、晶片製造和器件組裝三個階(jiē)段,其(qí)中汙染(rǎn)最為(wéi)嚴重的主要是晶片製造階段,有機廢氣(qì)的(de)產生便來(lái)源於這一階段的光刻、顯影、刻(kè)蝕及擴散等工(gōng)藝。半導體生產(chǎn)製造過程中產生的VOCs汙染物成(chéng)分(fèn)複雜,主要有各類烷烴(tīng)、烯炔烴類、芳族化
半導體作為一個高科技產業,往(wǎng)往被誤解為“清潔”產業,但事實上,半導(dǎo)體生產過程中使用了大量的有機和無機物質,包括許多有毒有(yǒu)害物質,這些物質對環境(jìng)具有一定(dìng)的影響。
半導體生(shēng)產可以分為晶體材料生產、晶片製造和器件組裝(zhuāng)三個階段,其(qí)中汙染最為嚴(yán)重的(de)主要是晶片製造階段,有(yǒu)機廢氣的產生便來源於這一階段的光(guāng)刻、顯(xiǎn)影、刻蝕及擴(kuò)散等工藝。
半導體生產製造過程中產生的VOCs汙染物成(chéng)分複雜,主要有各類烷烴、烯炔(quē)烴類、芳族化合(hé)物以及酮(tóng)、醚類(lèi)等,具(jù)有風量大和濃度低的特點。我國已成為半導體產業大戶,且各地製定了相應的排放標準。
91成人在VOCs領域有著豐富的治理(lǐ)經驗,在半導體有機廢氣治理行業有所建樹,做過不少成功案例。多(duō)年來(lái),可迪爾堅持用專業的技術為業主設計(jì)合適的(de)治理工藝,全麵解決生產中所麵臨的汙染超標問題,保障正常(cháng)生產。今天(tiān),小編帶(dài)大家一起去看看(kàn)有關半導(dǎo)體(tǐ)行業有機廢氣治理(lǐ)的部分項目案例。
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