隨著新材料行業的發（fā）展，全國各地新材料行業的規模（mó）也（yě）日益（yì）擴大，新材料的發展對社會起了積極的作用,然而其對生態環境的破壞也是存（cún）在的,影（yǐng）響z大的是有機化合物或（huò）毒性物質。

新（xīn）材料行業半導體廢氣處（chù）理方法（fǎ）及工藝

新材料行業與傳統材料相比，新材料產業（yè）具有技術高度密集，研究（jiū）與開發投入高，產品的附加值高，生產與市場的國際性強，以及（jí）應用範圍廣，發展前景好等特點，其研發水平及產（chǎn）業化規（guī）模已成為衡（héng）量一個國家經濟，社會發展，科技進步（bù）和國防實力的（de）重要標誌，世界（jiè）各（gè）國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。 作（zuò）為新材料（liào）產業的代（dài）表之一，半（bàn）導體工藝對操作室清潔度（dù）要求（qiú）極高（gāo），通（tōng）常使用風機（jī）抽取工藝過程中揮發的各類（lèi）廢氣，因（yīn）此半導體行業廢氣排放具有排氣（qì）量大（dà）、排（pái）放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

半導體企業酸性或堿性廢氣：酸堿中和處理法（fǎ）。

酸堿廢氣治理（lǐ）工藝（yì）流程為： 風管廢氣收集→酸性/堿性廢氣洗滌塔化學洗滌→耐腐蝕風機引風→煙囪排氣達標排放

有（yǒu）機廢氣治理工藝：直接燃燒法（fǎ）

有機廢氣治理工（gōng）藝流程為： 有（yǒu）機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達標排放

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