半導體芯片、平板顯示（shì）、高端PCB等電子製造業是國家（jiā）戰略性（xìng）產業的核心，其生產環（huán）境對潔淨度、溫濕度、空氣中汙染物（wù）濃度的要求近乎苛刻。光刻、刻蝕、離子注入、CVD/PVD、清洗等關鍵工序中，大量使用異丙醇、丙（bǐng）酮、PGMEA、顯影液溶劑等光刻膠及相關化學品，產生成分複雜且對良品率（lǜ）有潛（qián）在影響的VOCs廢氣。

微（wēi）量的VOCs殘留都可能導致產品缺陷。同時，電子行業也是環保監管的重點對（duì）象。因（yīn）此，半（bàn）導體/電子行業的廢氣治理（lǐ）不僅要求極高的去除效率（常需（xū）>99.5%）、極低的出口殘留濃（nóng）度，還必須運行（háng）絕（jué）對穩定可靠、無二次汙染風（fēng）險，並且需要低運行壓降以（yǐ）適應潔淨室風壓平衡。

蓄熱式熱力氧化爐憑（píng）借（jiè）其超高的破壞去除效率（DRE>99.5%）、處理後的潔淨（jìng）氣體品（pǐn）質、運行穩定性和卓越的熱回收性能，成為高端電子製造業滿足嚴苛環保要求、保障核心生產（chǎn）工藝（yì）環境的首選末端治理技術（shù）。

91成人為半導體/電子行業量身（shēn）打造的高標準（zhǔn）RTO解決方案：

• 極致淨化效能： 采用（yòng）優化的燃燒（shāo）室設計（溫度場均勻、充分湍流混合（hé））和精準（zhǔn）的溫度控製（zhì）（確保足夠高溫和停留時間），實現（xiàn）VOCs去除率（lǜ）>99.5%，出口濃度遠低於最嚴格標準（如<10mg/m³），保障潔淨室（shì）空氣質量。

• 超低（dī）殘留與（yǔ）泄漏： 精密（mì）加（jiā）工的（de）高性能切換閥門和嚴苛的係統（tǒng）密封（fēng）性控製，最大限度減少VOCs旁通泄漏和切換（huàn）瞬間（jiān）的瞬時排放。

• 超高熱回收效率： >95%的熱回收率，大幅降低（dī）運行能耗，尤其適合電子廠的（de）大風量工況，經濟性顯（xiǎn）著（zhe）。

• 穩定可靠運行： 核心部件（如切換（huàn）閥、燒嘴（zuǐ）、耐火（huǒ）材料）選用（yòng）國際知名品牌或特殊定製（zhì），確保設備（bèi）在24/7連續運（yùn）行下的（de）超高可靠性和（hé）長壽命。

• 智（zhì）能控製與安全： 先進的（de）DCS/PLC控製係統，實現全自（zì）動運行、遠程監（jiān）控、故障診斷和預警。配（pèi）備多重LEL濃度（dù）監測、防爆泄壓、火焰檢測（cè）、超溫聯鎖等安全措施，確保萬無一（yī）失。

• 低（dī）運行壓降： 優化的氣流通道（dào）設計，降低係（xì）統阻力，減少對原（yuán）有排風係統的（de）影響。