電子芯片製（zhì）造行業：RTO 應對高潔淨度生產（chǎn）環境需求
電子芯片製造行業：RTO 應對高潔淨度生（shēng）產環境需求（qiú）摘要（yào）
某高端電子芯片製造企業，在芯片光刻、刻蝕等工序中產生（shēng）含光刻膠揮發物（wù）、有機溶劑（jì）廢氣（qì）等，廢氣風量約 8000m³/h，VOCs 濃度為 600 - 1200mg/m³。由於芯片製（zhì）造對生產環境（jìng）潔淨度（dù）要求極高，企業選用 RTO 設備處理廢氣，並在（zài）設備前端配備多級高效過濾裝置，先去除廢氣中的細微顆粒與（yǔ）雜質，防止其進入 RTO 設備影響運行，同時避免（miǎn）對生產環境造成二次汙染。RTO 運行時，燃（rán）燒室（shì）溫度穩（wěn）定控製在
某高（gāo）端電子芯片製造企業，在芯片光刻、刻蝕等工序（xù）中產（chǎn）生含光刻（kè）膠揮發物、有機溶劑廢氣等，廢氣風量約 8000m³/h，VOCs 濃度為 600 - 1200mg/m³。由於芯片（piàn）製造對生產環境潔淨度要求（qiú）極高，企業選用 RTO 設備處理廢氣，並在設備前端配備多級高效過濾裝置，先去除廢氣中的細微顆粒與雜質（zhì），防止其進入 RTO 設（shè）備影響運行，同時避免對生產環境造成二次汙染（rǎn）。
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