半（bàn）導體行業廢氣治理方案方案（àn）概述

半導體行業廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理（SEX）、堿性廢氣處理（lǐ）(AEX)、有機廢氣處理(VEX)和一般排氣(GEX)等；其廢氣（qì）處理（lǐ）係統包括：酸性廢氣處理設備、堿性廢（fèi）氣處理設備、有機廢氣處理設備等；酸、堿（jiǎn）廢氣處理設備（bèi）有：洗滌塔（tǎ），又名噴淋塔、吸收塔；有機廢氣處理設備有：活（huó）性炭吸（xī）附裝置、直燃式熱（rè）氧化廢（fèi）氣焚（fén）燒爐（TO）等。

方案特點

技術路線（xiàn）

1 活性炭（tàn） / 沸石+催化燃燒

淨化原理: 有機廢氣通過活性炭/沸石吸附飽和後，采用（yòng）熱空氣進行脫附再生，脫附後的高濃（nóng）度廢氣經催化燃燒排（pái）空。催化燃燒利用熱空氣或熱氮氣來脫附產生的高濃度廢氣，有機廢氣在貴金屬催化劑的作用下於250~400℃之間催化氧化為（wéi）CO2和H2O，並釋放大量（liàng）的熱量，通過熱交（jiāo）換器對熱量進行再利用。

2 沸石轉筒+三塔式RTO

本技術是沸石轉輪吸附同蓄熱式焚燒技術的組合（hé）工藝，淨化係統主要由三級幹式過（guò）濾裝置、沸石轉輪濃縮吸附裝置、RTO、風機、換熱（rè）器、PLC自動化（huà）控製係統組（zǔ）成。該組合技術通過沸（fèi）石轉輪的吸附濃縮（suō）使大風量、低濃度有機廢氣濃縮為小風量、高濃度濃縮氣體，高濃度濃縮氣再經RTO高溫燃燒分解為(CO2和H2O等無機成分。