如今新的《大（dà）氣汙染防治法》、《大氣汙染防治行動計劃（huá）》、《揮發性有機物(VOCs)汙染防治技術政策》等法規的陸續頒布，我國對VOCs處理標準和力度逐步增強。剝（bāo）離液、稀釋液等其造成的有機廢氣具有大（dà）風量（liàng）、低濃度芯片製造業因為大（dà）量采用有機溶液作為清洗劑、光刻膠等特點。

　　為了更（gèng）好地有效地處理此類（lèi）VOCs廢（fèi）氣，沸石（shí）轉輪吸附濃縮（suō）法成為了行之有效的優選處理方案。沸石轉輪采（cǎi）用沸石分子篩作為吸（xī）附劑，具有耐高溫、較高機械強度等性能，可以滿足連續吸咐、脫附的需（xū）求。針對不同的VOCs成份，應有目的性地選用吸附效率高的沸石分子篩作為吸附劑（jì），才能達到理（lǐ）想的、高效的VOCs處理效果。

　　因此，文中以芯片廠為調（diào）查樣本，研究其VOCs廢氣成份（fèn），為其沸石轉輪係統的沸石分子篩選擇提供值得借鑒的方案（àn）和建議。現階段芯片製造業涉（shè）及揮發性有機物包括：異丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰（xiān）胺、丙（bǐng）二醇單甲醚（mí）乙酸酯(PMG)、乙二酸（suān）、醋酸等。

　　研（yán）究人員對沸石吸附（fù）劑對芯片製造業有機廢氣的吸（xī）附等溫線研究結果顯示：沸石（shí）分子篩對該行（háng）業有（yǒu）機廢氣具有較（jiào）高的吸附容量和吸附效率，屬於有（yǒu）利（lì）的（de）吸附等溫線。此外，沸石分子篩還具（jù）有耐高溫、機械（xiè）強度高（gāo）等性（xìng）能，在處理VOCs廢氣方麵（miàn）具（jù）有較高（gāo）的綜合性能。其中，異丙醇是（shì）芯片（piàn）生產製造過程中最常用的清洗劑；PMG是（shì）稀釋劑、光（guāng）刻膠（jiāo）等物質的主要成分。兩（liǎng）者的年消（xiāo）耗量巨大，僅上海（hǎi）某芯片工廠，這2種物質的年用量以百噸計，是其VOCs有機廢氣中的（de）主要汙染物。
　　廣東91成人環境科技有限公司生產的沸石轉輪催化燃燒（shāo）裝置吸附選擇性強，運行成本低，使用壽命長，維護成本低，吸附脫附可連續運（yùn）行，脫附（fù）達到能循環狀態節約能（néng）耗等優點。預處理過濾效率大於99%，淨化效率高於95%，整個裝置采用模組化設（shè）計，滿足了小空間的需求，且提供持續及（jí）無人化的操控模式。搭載了91成人（yuǎn）雲服務係統，實時遠程監（jiān）控設備的運行狀況，采集並記錄設備的運行數據（jù），有專業人員對數據進行分（fèn）析（xī），共享給用戶，讓用戶隨時了解設（shè）備運行狀（zhuàng）況，並（bìng）提出合理的（de）運行建議，必要時主動迅速的為用戶提供服務，及時為客戶解決問題。