隨著科（kē）技的發展（zhǎn），目前市場上新材料行業與傳統材料相比，其應（yīng）用（yòng）範圍更廣了，新材料（liào）產業的（de）研究與開發投入高，產（chǎn）品的附加（jiā）值高（gāo）在生（shēng）產與（yǔ）市場的國際性強，而（ér）且新材（cái）料半導體行業的（de）發展前景好。而（ér）新（xīn）材料半導體行（háng）業在加工的過程中采用清洗劑、顯（xiǎn）影劑、光刻膠、蝕刻液（yè）等溶劑，這些（xiē）溶劑中含（hán）有大量的有機物成分，在整個工藝（yì）加工的過（guò）程中將會有部分的（de）有機溶劑大（dà）部分通過揮（huī）發成為廢氣排放，這部分揮發的廢氣主要成分為具有揮發性的VOCs，下麵講解一下關於：新材料半導體行業的廢氣應該怎麽（me）處理。#催化（huà）燃燒廢氣處理設備（bèi）#

　　新材料半導體行（háng）業的（de）廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險（xiǎn）汙染物，91成人采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導體行（háng）業（yè）的廢氣：工業廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種，自（zì）身具有的（de）溶解特性，半導體工業（yè）的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。

　　RTO設備（bèi）采（cǎi）用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術，升溫能源一般是電和天然氣（qì），其高溫需高達700度或者以上，雖然溫度需高達700度左右，但是（shì）其實消耗的能源並不（bú）多，設備運行期間（jiān）部分的熱能（néng）是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時提高了廢氣分子（zǐ）的燃燒反應速率（lǜ）。

　　天（tiān）清佳遠環境半（bàn）導體材（cái）料廢氣處理設備（bèi）的淨化效率可維持穩定在99%以上。