太陽能電池的生產工藝流（liú）程（chéng）及廢（fèi）氣產汙（wū）環節見圖1。

   1、酸性廢氣。主要來自製絨和去磷矽玻璃工序產生的HF、 NOX等酸性氣態汙染物。  

   2、擴散廢氣。擴散工序產生的廢氣主要是Cl2。  

   3、刻（kè）蝕廢氣。刻蝕（shí）廢氣（qì）中（zhōng）的（de）汙染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。  

   4、PECVD廢氣。PECVD廢氣主要為未發生反應的SiH4、 NH3和反應生成的H2。  

   5、印（yìn）刷廢氣和燒（shāo）結廢氣。印（yìn）刷（shuā）和燒結工序廢（fèi）氣主要是由於漿料中的有機溶劑等物質揮發的有機氣態物質，有機物的產（chǎn）生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關。

   太陽能電池生產（chǎn）項目配套了3套（tào）廢氣（qì）治理設施，分別為酸霧淨化塔、矽烷燃燒塔（tǎ）和活（huó）性炭吸（xī）附塔

   1、酸霧淨化塔（tǎ）  酸霧淨化塔主要處理酸（suān）性廢氣、擴散廢氣和刻蝕廢氣。 處理工藝：廢氣從廢氣洗滌塔底部水平穿過廢氣洗滌塔內的填料，堿液經噴淋係統從廢氣洗滌塔上方噴灑而下，與廢氣中的酸性氣體發生中（zhōng）和反應，從而達到淨化效果。為達到最佳吸（xī）收效率，堿液（yè）的pH值保持在9左右。自動加藥係統可實時檢測廢氣洗滌塔內中和液的pH值，根據實際檢測值與設定值的關係來驅動計量泵，從而實現自（zì）動加（jiā）藥功能。處理後的（de）廢（fèi）氣監測結（jié）果見表1。

    2、矽烷燃燒塔  矽烷燃燒塔主要處理PECVD廢氣。  處理工藝：PECVD廢氣通過管道進入矽烷燃燒（shāo）塔的矽烷燃燒室，同時通入一（yī）定量的壓縮（suō）空氣（qì）。矽烷在常溫空氣中即可自燃，矽烷燃燒後的溫度約500℃～600℃可（kě）引起氫氣燃燒（shāo）。因此，在燃燒塔的矽烷燃燒筒內，矽（guī）烷和氫氣首先被燃（rán）燒處理，燃燒（shāo）反應方程式為（wéi）：

SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2H2O

2H2 + O2 → 2H2O 

    燃燒後的廢氣經由重力沉降室，大部（bù）分燃燒生成的SiO2等粉塵經過（guò）沉降，廢氣流速降低（dī）再進入（rù）矽烷燃燒塔的氨（ān）氣洗滌（dí）塔。氨氣洗滌塔中裝有（yǒu）填料，塔頂噴灑的酸性洗滌（dí）水。氨氣被酸液化學吸收，一般可能保證氨氣80％以上的去除率。

     燃燒筒中廢氣燃燒產生的SiO2粉塵（chén）從底部的排渣（zhā）口排（pái）出。為保（bǎo）證填料塔的（de）去除效率，洗滌液定期更換，更換後的 廢水進汙水處理設施進行處理，見圖2。

    3、活性炭吸附塔  活性（xìng）炭吸附塔主要處理印刷廢氣和燒結（jié）廢氣。活性炭吸附（fù）塔內裝填活性炭，目前采用活性炭吸附裝置是處理有機（jī）廢氣常用的方法，其優（yōu）點（diǎn）是設備較簡單，處理效率高，能達到 90%以上的去除效率。其原理是利用活性炭纖維（wéi）表麵發達的微孔結構和活性炭本身的表麵作用力，將廢氣中（zhōng）的物質吸附。活性炭吸附裝（zhuāng）置最大的特點（diǎn）在於能在符合經（jīng）濟（jì）條件的操作（zuò）範（fàn） 圍內（nèi），幾乎可完全去（qù）除氣流中的有機成分，直至活性炭吸附容（róng）量達到飽和為止。

    廢氣達標排放分析  目前國家尚（shàng）未（wèi）製定太陽（yáng）能電池生產的相關汙（wū）染控製標準。該項目太陽能電池生（shēng）產中排放廢氣中（zhōng），氯氣、氟化物和 顆粒物執行《大氣（qì）汙染物綜合排放標準》（GB16297-1996），氨氣執行《惡臭汙染物排放標準》（GB14554-1993），VOCs參照執（zhí）行上海市《半導體行業汙（wū）染物（wù）排放標準（zhǔn）》（DB31/374-  2006），見表（biǎo）4。